特許
J-GLOBAL ID：200903019989719104
ヘリウムパージされる細線化ユニットを備える高エネルギーガス放電レーザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298233
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 ヘリウムパージされる細線化ユニットを備える高エネルギーガス放電レーザを提供することを目的とする。【解決手段】 高エネルギーレーザビームを高周波数で生成する細線化レーザにおける熱によるゆがみを最小化するための格子に基づく細線化装置に対するヘリウムガスパージ。出願人はヘリウムガスパージの使用で従来技術の窒素ガスパージに比較し効率の相当な改善を示した。好ましい実施形態においてヘリウムガス流は格子表面を横切って導かれる。他の実施形態においては、パージガス圧を低減して高温ガス層の光学的影響を低減する。
請求項（抜粋）：
レーザが生成する高エネルギーレーザビームを細線化する、格子に基づく細線化装置であって、(A)格子表面を形成する格子と、(B)少なくとも前記格子を収納する処理室と、(C)前記処理室をパージするためのヘリウムパージを供給するためのヘリウム源と、(D)拡大ビームを生成するために前記レーザからのビームを拡大するためのビーム拡大手段と、(E)前記拡大ビームから所望の範囲の波長を選択するために、前記格子表面上に前記拡大ビームを導く調整手段と、を含むことを特徴とする装置。
IPC (3件)：
H01S 3/1055
, H01S 3/03
, H01S 3/041
H01S 3/1055
, H01S 3/03 Z
, H01S 3/04 G
