特許
J-GLOBAL ID：200903019994672620

角速度センサおよびその製造方法

発明者：
大内 智

大内 智 について

, 
相澤 宏幸

相澤 宏幸 について

, 
野添 利幸

野添 利幸 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-201513
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023186
出願日： 2004年07月08日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】エッチング屑(下部電極に相当する導体層)に起因した短絡を抑制し、信頼性を向上した角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】ドライブ電極部26およびモニタ電極部28およびセンシング電極部27は、音叉形状の基板に形成した下部電極と、この下部電極に形成した圧電材料からなる圧電膜と、この圧電膜に形成した上部電極とを有しており、圧電膜の幅よりも上部電極の幅を小さくして、上部電極の両端面に近接する近接部から圧電膜を露出させるようにした構成である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角速度検出用の振動子を備え、前記振動子には、前記振動子を駆動させる駆動信号を入力するドライブ電極部と、前記振動子の駆動状態を検知して検知信号を出力するモニタ電極部と、前記振動子に与えられた角速度に起因して発生する角速度信号を出力するセンシング電極部とを設け、前記ドライブ電極部および前記モニタ電極部および前記センシング電極部は、基板に形成した下部電極と、前記下部電極に形成した圧電材料からなる圧電膜と、前記圧電膜に形成した上部電極とを有し、前記圧電膜の幅よりも前記上部電極の幅を小さくして、前記上部電極の両端面に近接する近接部から前記圧電膜を露出させた角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04
Fターム (4件)：
2F105BB11 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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