特許
J-GLOBAL ID：200903020042317264
基板処理装置,搬送装置,搬送装置の制御方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-189026
公開番号（公開出願番号）：特開2007-012720
出願日： 2005年06月28日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 スライド動作と旋回動作の複合動作を含む複数の動作パターンを安定して,より搬送時間を短縮させるように動作させる。【解決手段】 一方向に長く形成された多角形状の共通搬送室150の周囲に処理室140A〜140Fを含む複数の室を配設する。共通搬送室内に設けられる処理ユニット側搬送装置180は,各室に対して基板搬出入を行う伸縮可能に構成された搬送アーム(185A,185B)を有する。搬送アームは搬送室の長手方向に沿ってスライド動作可能に構成されるとともに,旋回動作可能に構成される。この搬送装置を動作させる際,スライド動作と旋回動作の複合動作を含む複数の動作パターンを分類した動作パターン情報に基づいて動作パターンを取得し,この動作パターンに対応する動作軌道を動作軌道情報に基づいて取得し,この動作軌道に基づいてスライド方向の位置と旋回方向の向きを制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
処理室内に搬入された基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって,
一方向に長く形成された多角形状の搬送室と,
前記搬送室の周囲に配設された,前記処理室を含む複数の室と,
前記複数の室の各室に対して前記基板の搬出入を行う伸縮可能に構成された搬送アームを有し,この搬送アームを前記搬送室の長手方向に沿ってスライド動作可能に構成されるとともに旋回動作可能に構成され,前記スライド動作と前記旋回動作の各動作又はこれらの複合動作により,前記基板の搬出元及び搬送先の位置と向きに応じて前記搬送アームのスライド方向の位置と旋回方向の向きが制御される搬送装置と,
前記搬送装置の動作を複数の動作パターンに分類した動作パターン情報と,前記動作パターン情報の各動作パターンごとに設定された前記各動作の動作軌道情報とを記憶する記憶部と,
前記搬送装置を動作させる際,前記動作パターン情報に基づいて動作パターンを取得し,取得した動作パターンに対応する動作軌道を前記動作軌道情報に基づいて取得し,取得した動作軌道に基づいて前記搬送アームの前記スライド方向の位置と前記旋回方向の向きを制御する制御部と,
を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, B65G49/07 C
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA50
, 5F031HA59
, 5F031JA01
, 5F031JA02
, 5F031JA15
, 5F031JA23
, 5F031JA32
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031KA13
, 5F031KA14
, 5F031LA07
, 5F031LA08
, 5F031LA09
, 5F031LA12
, 5F031LA18
, 5F031MA04
, 5F031MA13
, 5F031NA07
, 5F031PA02
, 5F031PA09
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
