特許
J-GLOBAL ID：200903020116831739

接触プローブおよび形状測定装置

発明者：
日高 和彦

日高 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-027716
公開番号（公開出願番号）：特開2007-205998
出願日： 2006年02月03日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】被測定物表面に対する負荷が小さい接触プローブを提供する。【解決手段】被測定物表面に当接する接触部312を先端に有する測定子310と、測定子310の変位を検出する検出センサと、測定子310の軸方向とは略直交して配置された弾性体のプレートであって測定子310の基端側を支持する支持プレート420と、測定子310を変位させるスタイラス変位手段440と、を備える。スタイラス変位手段440は、支持プレート420に応力を付与してそれぞれの点における支持プレート420の弾性変形量を変化させるアクチュエータ441〜443を備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被測定物表面に当接する接触部を先端に有する測定子と、 前記測定子の変位を検出する検出センサと、 前記測定子の軸方向とは略直交して配置された弾性体のプレートであって前記測定子の基端側を支持する支持プレートと、 前記測定子を変位させる測定子変位手段と、を備え、 前記測定子変位手段は、 直線上にない3点以上において前記支持プレートに応力を付与してそれぞれの点における前記支持プレートの弾性変形量を変化させる応力付与手段を備える ことを特徴とする接触プローブ。
IPC (2件)：
G01B 5/012 ,  G01B 5/20
FI (2件)：
G01B5/012 ,  G01B5/20 C
Fターム (10件)：
2F062AA51 ,  2F062EE01 ,  2F062FG01 ,  2F062HH01 ,  2F062HH04 ,  2F062HH05 ,  2F062HH21 ,  2F062HH24 ,  2F062HH27 ,  2F062JJ00
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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