特許
J-GLOBAL ID：200903020131043259

半導体基板の生産制御装置

発明者：
奥村 寿浩

奥村 寿浩 について

, 
池田 純二

池田 純二 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329850
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007912
出願日： 1995年11月23日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【課題】 加工工程間に放置時間制限が要求されているロットが混在している生産システムにおいても、品質を低下させることなく製造効率を向上させること。【解決手段】第1処理装置に対する搬入予定ロットの種類に応じて、第1処理装置および第2処理装置でのそのロットの処理条件が決定される。そして、予約手段によって、少なくとも第2搬送の所要時間および第2処理装置での処理の所要時間に基づき、各処理ロットの放置時間が放置時間制限以下となるように、第1処理装置の処理開始予定時刻および処理終了予定時刻と、第2処理装置の処理開始予定時刻および処理終了予定時刻とが搬入予定ロット毎に演算され、それらの値は予約情報として記憶される。そして、搬送制御手段によって、記憶手段に記憶されている予約情報に基づいて、搬入予定ロットの各搬送が制御される。
請求項（抜粋）：
複数種類の半導体基板のロット毎の進行管理および各種処理装置の制御を行う第1制御手段と、前記ロットの種類に応じた処理条件にて所定の処理を行う少なくとも1台の第1処理装置と、前記第1処理装置に対して搬入するロットを収納する第1収納ステーションと、前記第1処理装置の処理が完了した各処理ロットを次に処理する装置であって、前記各処理ロットの種類別の処理条件にて前記各処理ロットを種類別に並行して処理する少なくとも1台の第2処理装置と、前記第1収納ステーションから前記第1処理装置へロットを搬送する第1搬送、前記第1処理装置から前記第2処理装置へロットを搬送する第2搬送、および、前記第2処理装置からロットを搬出する第3搬送とを行う第1搬送手段とを有し、前記第1処理装置の処理終了時刻から前記第2処理装置の処理開始時刻までの放置時間が品質劣化が許容範囲内であることを保証する放置時間制限以下となることが、前記各処理ロット毎に要求されている半導体基板の生産制御装置であって、前記第1制御手段は、記憶手段と、前記第1処理装置に対する搬入予定ロットの種類に応じて、前記第1処理装置および前記第2処理装置における前記搬入予定ロットの処理条件を決定する決定手段と、少なくとも前記第2搬送の所要時間および前記第2処理装置の処理の前記処理条件により決定される所要時間に基づき、前記各処理ロットの前記放置時間が前記放置時間制限以下となるように、前記第1処理装置の処理開始予定時刻および処理終了予定時刻と、前記第2処理装置の処理開始予定時刻および処理終了予定時刻とを前記搬入予定ロット毎に演算し、前記記憶手段に予約情報として記憶する予約手段と、前記予約情報に基づいて、前記搬入予定ロットの前記第1搬送を許可し、前記第1搬送手段の搬送動作を制御する搬送制御手段とを有することを特徴とする半導体基板の生産制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02 ,  B65G 1/137 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L 21/02 Z ,  B65G 1/137 A ,  H01L 21/68 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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