特許
J-GLOBAL ID：200903020292221890
薄膜形成方法及び薄膜形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-311197
公開番号（公開出願番号）：特開2007-117832
出願日： 2005年10月26日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】液滴の吐出量をリアルタイムで調整することができ、不良の発生を防ぐことができる薄膜形成方法及び薄膜形成装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド20により吐出される機能液のインクを基板31上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法であって、機能液を収容する液体収容部71の重量を測定し、この液体収容部71の重量変化に基づいてインクジェットヘッド20が吐出するインクの吐出量を制御する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
液滴吐出手段により吐出される機能液の液滴を基体上に着弾させて薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記機能液を収容する液体収容部の重量を測定し、この液体収容部の重量変化に基づいて、前記液滴吐出手段が吐出する液滴の吐出量を制御することを特徴とする薄膜形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (26件)：
2C056EB15
, 2C056EB29
, 2C056EC72
, 4D075AC06
, 4D075AC86
, 4D075AC91
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA05
, 4D075EA33
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA32
, 4F041BA34
, 4F042BA02
, 4F042BA12
, 4F042CA01
, 4F042CA04
, 4F042CB03
, 4F042CB10
, 4F042DH09
