特許
J-GLOBAL ID：200903020355243326
保護キャップの成形
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 行一
, 鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-556943
公開番号（公開出願番号）：特表2004-524184
出願日： 2002年01月08日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
本発明は、複数の微細加工デバイスを有するウエハに対して取り付けられるキャップ列を形成する方法である。この方法は、熱可塑性材料から成るシート(134)を上側モールド(102)と下側モールド(104)との間に挟み、シートを塑性状態まで加熱し、シートをキャップに成形することを含んでいる。モールド(102,104)はシリコンによって形成されていることが好ましく、赤外線はシート(134)を加熱するために使用されることが好ましい。
請求項（抜粋）：
a)熱可塑性材料から成るシートを設けるステップと、
b)シートを成形するための上側モールドおよび下側モールドを設けるステップと、
c)上側モールドと下側モールドとの間にシートを挟むステップと、
d)シートを加熱するステップと、
e)上側モールドと下側モールドとを互いに押し付けてシートを変形させることにより、キャップ列を形成するステップと、
を有し、
キャップ列は、複数の微細加工デバイスを有するウエハに対して取り付けられるためのものである方法。
IPC (3件)：
B29C51/08
, H01L23/02
, H01L23/08
B29C51/08
, H01L23/02 J
, H01L23/08 A
4F208AC03
, 4F208AE03
, 4F208AH33
, 4F208MA05
, 4F208MB01
, 4F208MC03
, 4F208MG11
, 4F208MH06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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