特許

J-GLOBAL ID：200903020387921431

機能水、その製造方法及び製造装置

発明者： 榛原 照男 ,  上村 賢一 ,  加藤 昌明 ,  山田 邦晃 ,  錦 善則 ,  古田 常人
出願人/特許権者： ワッカー・エヌエスシーイー株式会社 ,  株式会社 ピュアトロン ,  ペルメレック電極株式会社
代理人 (1件)： 森 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-099553
公開番号（公開出願番号）：特開2003-290767
出願日： 2002年04月02日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：

【要約】【課題】 従来より高い効率でフッ化物イオンを含む電解液を電解して洗浄効率の優れた機能水を提供する。【解決手段】 フッ化物イオンを含む水溶液を導電性ダイヤモンドを有する電極を用いて電解して得られる含フッ素成分を含有することを特徴とする機能水。フッ化物イオンを導電性ダイヤモンド電極を使用して電解生成される含フッ素成分)は、電解前のフッ化物イオン自体やフッ化物イオンを他の電極を使用して電解することにより得られる含フッ素成分よりも強力な洗浄効果を有し、フッ酸の使用量を大幅に節減できる。

請求項（抜粋）：

フッ化物イオンを含む水溶液を導電性ダイヤモンドを有する電極を用いて電解して得られる含フッ素成分を含有することを特徴とする機能水。

IPC (7件)：

C02F 1/46 ,  C02F 1/20 ,  C25B 1/24 ,  C25B 11/06 ,  C25B 11/12 ,  C25B 15/08 302 ,  H01L 21/304 647

FI (7件)：

C02F 1/46 Z ,  C02F 1/20 A ,  C25B 1/24 A ,  C25B 11/06 Z ,  C25B 11/12 ,  C25B 15/08 302 ,  H01L 21/304 647 Z

Fターム (33件)：

4D037AA01 ,  4D037AB00 ,  4D037BA23 ,  4D037CA04 ,  4D061DA02 ,  4D061DB09 ,  4D061EA02 ,  4D061EB04 ,  4D061EB12 ,  4D061EB13 ,  4D061EB19 ,  4D061EB29 ,  4D061EB31 ,  4D061EB39 ,  4D061ED12 ,  4D061ED20 ,  4D061GB05 ,  4K011AA20 ,  4K011AA21 ,  4K011AA23 ,  4K011AA24 ,  4K011AA29 ,  4K011DA11 ,  4K021AB09 ,  4K021BA04 ,  4K021BB03 ,  4K021BC01 ,  4K021BC03 ,  4K021BC04 ,  4K021CA11 ,  4K021DB18 ,  4K021DB31 ,  4K021DC15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 過硫酸溶解水の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-374304   出願人：ペルメレック電極株式会社
• 洗浄組成物及びそれを用いた半導体基板の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-069856   出願人：三菱化学株式会社
• 電解用電極及び該電極を使用する電解槽
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-106379   出願人：ペルメレック電極株式会社
• 超純水の製造方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-265808   出願人：オルガノ株式会社