基板搬送教示用の治具、基板搬送装置、及び搬送教示システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357731
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186360
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】オペレータの負担を低減するとともに、正確かつ短時間で効率的に位置ズレを解消するために自動的にティーチング処理を行うことを可能とすること。【解決手段】治具200の光コネクタ251とアーム31bの光コネクタ252が互いに接合するように治具200をアーム31bに載置する。そして、光ファイバF2、光コネクタ252,251、光ファイバF1を経由して光信号が光センサヘッドより出射する。また、光センサヘッドに入射する光信号は、光ファイバF1、光コネクタ251,252、光ファイバF2を経由して基板搬送装置の内部に導かれる。そして、自動的にアーム31bを3軸方向に移動させることにより、所定の搬送位置に設けられた被検出部122のエッジ位置を検出して位置情報を取得し、教示情報を得る。なお、投光部,受光部は基板搬送装置の内部に設けられている。

請求項（抜粋）：

基板をアームで保持した状態で搬送を行う基板搬送装置において、前記基板の搬送位置を教示する際に使用される治具であって、(a) 前記アームで保持可能である本体部と、(b) 前記本体部に設けられ、前記搬送位置に設けられた所定の被検出部を非接触で検出する光センサヘッドと、(c) 前記光センサヘッドから伸びた光ファイバを案内するガイド部と、(d) 前記ガイド部に設けられ、前記光ファイバに接続された光コネクタと、を備えることを特徴とする基板搬送教示用の治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 13/08 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 13/08 Z , B65G 49/07 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体基板位置検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-155569 出願人：国際電気株式会社
ウェハ配列検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-288358 出願人：住友金属工業株式会社
半導体ウエハ認識装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-329766 出願人：株式会社ダイヘン

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