走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法およびデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-001904
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202284
出願日： 2002年01月09日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報と同時に試料の局所的特性に関する分布情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供することである。【解決手段】光学式の高感度近接センサを具備して試料と探針との接近を制御することによって、各測定箇所へのアプローチを高速化した。また、プローブを間歇的に試料に接触させて探針を試料上で引きずらないようにしながら試料高さデータを得ると同時に、試料への接触期間に同時に、探針に電圧を掛けたり、探針を振動させて応答を計測したり、試料表面の局所的光強度を検出したりすることにより、走査速度を落とさずに試料上の材質の分布に関する付加的情報を得られるようにした。

請求項（抜粋）：

試料台と探針との相互の位置を精密に制御可能な駆動機構と、探針の接触状態を計測することが可能なセンサをもち、試料の立体表面形状その他の表面分布を計測することが可能な走査プローブ顕微鏡において、探針と試料との間の距離を計測するセンサを具備し、これによって探針と試料を高速に近接することを可能とすることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/10 , G01B 21/16 , G01B 21/30 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 13/10 B , G01N 13/10 C , G01N 13/10 F , G01B 21/16 , G01B 21/30 , H01L 21/66 B

Fターム (32件)：

2F069AA44 , 2F069AA60 , 2F069BB13 , 2F069DD15 , 2F069DD25 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG59 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069HH07 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069JJ14 , 2F069JJ25 , 2F069MM04 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069RR03 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106BA20 , 4M106CA24 , 4M106CA39 , 4M106CA40 , 4M106CA48 , 4M106CA70 , 4M106DB18 , 4M106DB30 , 4M106DD03 , 4M106DJ07

引用特許：

審査官引用 (8件)

プローブ型顕微鏡及び情報記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-171933 出願人：株式会社リコー
熱交換効果を利用した走査型プローブ顕微鏡装置におけるアプローチ方法及びカンチレバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-168908 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平4-286908

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