特許
J-GLOBAL ID：200903050683643710
収束荷電粒子線装置およびそれを用いた検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046725
公開番号（公開出願番号）：特開平11-250847
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】集束荷電粒子線装置において、常に電子線の焦点が試料の表面にあった状態で、試料表面の電子線像を観察できるようにする。【解決手段】電子線と干渉しない光学式の高さ検出手段を用いて、試料の電子線照射点の近傍の高さを検出し、試料表面の電子線像を観察中に高さを調整する。光学式の高さ検出手段は、予め段差が分かっている校正用試料を用いて校正しておき、それに基づいて被検査物表面の高さを算出する。光学式の高さ検出手段は、被検査物表面の高さ情報を得るために、被検査物表面の法線方向に対して60度以上の角度から照明して、その反射光を検出する。
請求項（抜粋）：
電子線源と、該電子線源から発せられた電子線を焦点に収束させる電子光学系手段と,内部を真空に排気される真空室手段と、該真空室手段の内部にあって被検査物を載置して平面内を移動可能なステージ手段と、該ステージ手段に載置された前記被検査物に前記電子光学系手段により前記集束させた電子線を走査して照射することにより前記被検査物から発生する2次荷電子を検出して前記試料表面の電子線像を観察する電子線像観察手段と,前記電子光学系手段により電子線を走査して照射される領域における前記被検査物表面の高さを光学的に検出する高さ検出手段と、該高さ検出手段により検出した結果を用いて前記電子光学系手段による電子線の焦点位置と前記被検査物との高さ方向の相対位置を制御する制御手段と、該制御手段により前記電子線の焦点位置と前記被検査物との高さ方向の相対位置が制御された状態で前記電子線像観察手段により観察された前記被検査試料表面の電子線像を処理して前記被検査試料の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする集束荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/21 B
, G01N 23/225
