特許
J-GLOBAL ID：200903020440654416
フッ化物結晶の熱処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 恵三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064934
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256095
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】【課題】 アニール時間を短くして、フッ化物結晶の作製コストを下げる。【解決手段】 フッ化物結晶を加熱して昇温させ、昇温されたフッ化物結晶を第1の降温速度で降温した後により速い第2の降温速度で降温する。
請求項（抜粋）：
フッ化物結晶を熱処理する熱処理方法において、フッ化物結晶を昇温させ、昇温されたフッ化物結晶を第1の降温速度で降温する第1工程と、該第1工程の後に該第1の降温速度より速い第2の降温速度で降温する第2工程とを含むことを特徴とするフッ化物結晶の熱処理方法。
Fターム (4件)：
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077FE13
, 4G077HA01
