特許
J-GLOBAL ID：200903020488942227
高周波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
東田 潔
, 山下 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-363580
公開番号（公開出願番号）：特開2005-130198
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】高周波電力の投入時に発生した反射電力を速やかに極小値に導いて高周波電力を再現性良く安定に供給できるようにする。【解決手段】高周波電力を負荷に供給可能な高周波電源11a、11bとマッチングボックス12a、12bとをスイッチング稼働可能に設ける。高周波電源とマッチングボックスとの間に高周波反射電力検知手段13a、13bと制御信号発生器14を設け、制御信号発生器から、高周波電源に対し基本制御信号を出力し、マッチングボックスと高周波反射電力検知手段に所定時間の遅れをもって外部制御信号を出力する。それに同期して反射電力信号が制御信号発生器に帰還されるようにし、この反射電力信号が最小値となるように負荷の時間的変動に対する外部制御信号の制御信号パラメータを調節してマッチングを行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高周波電力を負荷に供給可能な高周波電源と、電流電圧の位相のチューニング及びインピーダンスの整合を行うマッチングボックスとをスイッチング稼働可能に備え、この高周波電源とマッチングボックスとの間に高周波反射電力検知手段を設けると共に、高周波電源に対しパルス変調した基本制御信号を出力すると共にマッチングボックスに所定時間の遅れをもってパルス変調した外部制御信号を出力して高周波電源及びマッチングボックスをそれぞれ稼働させる制御信号発生器を設けた高周波装置であって、
前記制御信号発生器は、高周波反射電力検知器に対して外部制御信号を出力し、それに同期して反射電力信号が、高周波電源、マッチングボックス及び制御信号発生器のいずれかに帰還されるようにし、この反射電力信号が最小値となるように、負荷の時間的変動に対する外部制御信号の制御信号パラメータを調節してマッチングを行うようにしたことを特徴とする高周波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
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高周波装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-325406
出願人：日本電子株式会社
審査官引用 (5件)
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