加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061305
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258450
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】基板に過大な曲げモーメントが作用するということはなく、これにより、歪検出素子の抵抗値が変動してしまうということもなく、十分な出力電圧を確保できる加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】重り部材23をアーム部24と質量部25とで構成し、かつアーム部24と質量部25が基板14の上部より下部側に位置するようにアーム部24を基板14の上部に固着することにより、基板14の上部に作用するせん断力と曲げモーメント力を互いに逆方向にし、この逆方向の作用により、第1の歪検出素子15a,15bに加わる応力と第2の歪検出素子21a,21bに加わる応力が互いに逆方向となるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

基台と、この基台の下部を固着するとともに、表面の上部に第1の歪検出素子を設け、かつ同一表面の下部に第2の歪検出素子を設け、さらに上方へ向かって突出する弾性材料からなる基板と、この基板の上部に固着する重り部材とを備え、前記重り部材をアーム部と質量部とで構成し、かつアーム部と質量部が基板の上部より下部側に位置するようにアーム部を基板の上部に固着することにより、前記基板の上部に作用するせん断力と曲げモーメント力を互いに逆方向にし、この逆方向の作用により、前記第1の歪検出素子に加わる応力と第2の歪検出素子に加わる応力が互いに逆方向となるようにした加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

姿勢センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163877 出願人：キヤノン株式会社
半導体加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-314632 出願人：松下電工株式会社
特開平4-301770

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