特許
J-GLOBAL ID：200903020557509786
MEMS振動子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-261135
公開番号（公開出願番号）：特開2007-160495
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】MEMS構造体部分のサイドウォール状のエッチング残りを防止することにより、信頼性の高いMEMS振動子及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】MEMS振動子は、基板10と、基板10上に形成される固定電極12と、固定電極12に対向して配置され、固定電極12との間隙28に働く静電引力又は静電反発力により駆動する可動電極14と、を含み、可動電極14は、固定電極12に対向する可動電極14の支持梁24の内側面が傾斜面40を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に形成される固定電極と、
前記固定電極に対向して配置され、前記固定電極との間隙に働く静電引力又は静電反発力により駆動する可動電極と、
を含み、
前記可動電極は、前記固定電極に対向する前記可動電極の支持梁の内側面が傾斜面を有するMEMS振動子。
IPC (4件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G01P 15/13
, H02N 1/00
B81B3/00
, B81C1/00
, G01P15/13 B
, H02N1/00
