特許
J-GLOBAL ID：200903020730066291
マイクロスイッチ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-055416
公開番号（公開出願番号）：特開2005-332802
出願日： 2005年03月01日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】高周波信号の切り替えを低消費電力で効率よく行うことが出来るとともに、応答性、及び耐久性に優れ、長期間駆動に対する信頼性の高いマイクロスイッチを提供する。【解決手段】片持ち梁型の屈曲変位部材70を有する可動電極接点部材71と、圧電/電歪体及び電圧印加用電極層を有する圧電/電歪素子20と、可動電極接点部材71の支持部8に接合され固定電極3をその表面上に有する基材7とを備え、圧電/電歪素子20の駆動により可動電極2を変位させ、可動電極2と固定電極3を電気的な接続状態又は切断状態とすることが可能なマイクロスイッチ1である。屈曲変位部材70の少なくとも薄板部6がセラミックス材料からなるとともに、薄板部6、圧電/電歪体、及び電圧印加用電極層が焼成一体化されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
薄板部及び前記薄板部の端部に連結する少なくとも一の支持部を持った屈曲変位部材並びに可動電極を有する可動電極接点部材と、
前記薄板部の少なくとも一方の面上に配設された、膜状の圧電/電歪体及び少なくとも一対の電圧印加用電極層を有する屈曲変位機構と、
前記可動電極接点部材の前記支持部に接合され、前記可動電極に対向配置される固定電極をその表面上に有する基材と、を備え、
前記屈曲変位機構の駆動により前記可動電極を変位させ、前記可動電極と前記固定電極を電気的な接続状態又は切断状態とすることが可能なマイクロスイッチであって、
前記屈曲変位部材の少なくとも前記薄板部がセラミックス材料からなるとともに、前記薄板部、前記圧電/電歪体、及び前記電圧印加用電極層が焼成一体化されているマイクロスイッチ。
IPC (7件)：
H01H57/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01L41/083
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
H01H57/00 A
, H01H57/00 B
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01L41/08 C
, H01L41/08 S
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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