特許
J-GLOBAL ID：200903075411153024
マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-101625
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348595
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 従来よりも低い駆動電圧で動作可能とし、絶縁体膜の耐圧特性を上昇させることによってデバイス特性を改善する。【解決手段】 基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられた支持部材によって前記基板上に支持された可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と、前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極とを備え、前記梁部材の一部または前記下部電極の少なくとも一方は、他方と向かい合う面積が互いに等しい複数の電極によって構成されている。
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられた支持部材によって前記基板上に支持された可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と、前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極とを備え、前記梁部材の一部または前記下部電極の少なくとも一方は、他方と向かい合う面積が互いに等しい複数の電極によって構成されていることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (5件)：
H01H 59/00
, B81B 7/02
, H01L 29/84
, H01P 1/10
, H01Q 3/26
H01H 59/00
, B81B 7/02
, H01L 29/84 Z
, H01P 1/10
, H01Q 3/26 Z
