特許
J-GLOBAL ID：200903020755899794
光変調デバイス及び表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222068
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051212
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 反射面の曲率変化を大きくして集光性能を向上させた光変調デバイス及びそれを用いた表示装置を提供する。【解決手段】 圧電体層33及びこれを挟持する第1及び第2の電極32,34からなる圧電素子30を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素20と、該ミラー要素20に対応して設けられた駆動素子50とを有する光変調デバイスにおいて、前記圧電素子30は、前記ミラー要素20の厚さ方向に貫通した貫通孔21,22を少なくとも2つ有し、前記第1及び第2の電極32,34は、それぞれ前記貫通孔21,22を介して基板11上まで延設されると共に前記ミラー要素20を前記基板11上に支持する第1及び第2の延設部41,42を具備することにより、圧電素子30の外縁部を自由端とする。
請求項（抜粋）：
圧電体層及びこれを挟持する第1及び第2の電極からなる圧電素子を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素と、該ミラー要素に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、前記圧電素子は、前記ミラー要素の厚さ方向に貫通した貫通孔を少なくとも2つ有し、前記第1及び第2の電極は、それぞれ前記貫通孔を介して基板上まで延設されると共に前記ミラー要素を前記基板上に支持する第1及び第2の延設部を具備することを特徴とする光変調デバイス。
Fターム (6件)：
2H041AA04
, 2H041AA05
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
