特許
J-GLOBAL ID：200903026596173319
薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183727
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084273
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 化学量論的に一様、且つ微細な粒子よりなる電気的に変形可能な材料を有する薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板312 及び接続端子314 のアレイよりなる能動マトリックス310 を準備し、空スロットのアレイを有する犠牲層340 を形成し、犠牲層340 の上に弾性層350 及び下位電極層360 を順次的に形成し、下位電極層360 の上にシード層370 を形成し、電気的に変形可能な層380 を形成し、この電気的に変形可能な層380 の上に上部電極層390 を蒸着して、多層構造体460 を形成し、犠牲層340 が露出されるまで、多層構造体460 をパターニングして未完成駆動構造体405のアレイを形成し、バイア接点425 のアレイを形成して、駆動構造体のアレイを形成し、犠牲層340 を取除いて薄膜アクチュエーテッドミラー301 のアレイ300を形成する。
請求項（抜粋）：
薄膜アクチュエーテッドミラーアレイであって、基板及び接続端子のアレイを有する能動マトリックスと、各々が、ミラーだけではなく共通バイアス電極として機能する上部電極、電気的に変形可能な部材、シード部材、信号電極として機能する下部電極、弾性部材及びバイア接点を有する駆動構造体のアレイとを含むことを特徴とする薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G09F 9/37
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, G09F 9/37 Z
, H04N 5/74 B
