溝面形状測定装置および溝面形状測定方法およびプログラム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 村山靖彦 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-198026
公開番号（公開出願番号）：特開2007-327968
出願日： 2007年07月30日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】溝部の内部の溝幅や溝面の平面度等の溝面形状を容易かつ精度良く測定する。【解決手段】溝面形状測定装置は、第1変位計12aとスロットダイの一方の対向面とが対向配置された状態にて、スロットダイを駆動装置により所定移動方向に移動させ、第1変位計12aと一方の対向面との間の距離を検出する。次に、変位計固定部材および各変位計の位置は不変とし、第2変位計12bとスロットダイの一方の対向面とが対向配置されるように、スロットダイを反転移動させ、スロットダイを駆動装置により所定移動方向に移動させ、第2変位計12bと一方の対向面との間の距離を検出する。検出した2つの距離から駆動装置の駆動に係る真直度誤差を相殺し、所定移動方向に対する真直度を得る。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

2つの対向面からなる溝部の溝面形状を測定する溝面形状測定装置であって、各前記対向面に対して対向配置され、各前記対向面との間の距離および距離の偏差を検出する一対の変位計と、前記変位計と前記溝部とを前記対向面に平行な方向に相対移動させる移動手段と、対向配置される前記一対の変位計と前記2つの対向面との対応関係が変化するように前記溝部を移動させる反転移動手段と、前記移動手段の作動時に、少なくとも前記一対の変位計の何れかから出力される第1の検出値と、前記反転移動手段の作動後における前記移動手段の作動時に、前記少なくとも前記一対の変位計の何れかから出力される第2の検出値とに基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の、前記少なくとも前記一対の変位計の何れかと対向する前記対向面の前記相対移動の方向における真直度を算出する真直度算出手段とを備えることを特徴とする溝面形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 21/30

FI (1件)：

G01B21/30 101F

Fターム (9件)：

2F069AA49 , 2F069AA54 , 2F069AA62 , 2F069BB40 , 2F069DD20 , 2F069GG04 , 2F069GG11 , 2F069HH09 , 2F069JJ13

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭64-043711
特開昭62-081509
真直度誤差校正方法および測定治具
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-290707 出願人：株式会社ミツトヨ

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審査官引用 (8件)

特開昭64-043711
特開昭62-081509
真直度誤差校正方法および測定治具
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-290707 出願人：株式会社ミツトヨ

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