特許
J-GLOBAL ID：200903048138704104
溝面形状測定装置および溝面形状測定方法およびプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 村山 靖彦
, 柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-198027
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298529
出願日： 2007年07月30日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】溝部の内部の溝幅や溝面の平面度等の溝面形状を容易かつ精度良く測定する。【解決手段】受光部44は、光源41からX方向に出射され、ビームスプリッタ42によりZ方向に取り出され、第1反射鏡43にて反射された第1反射光L1と、光源41からX方向に出射され、ビームスプリッタ42を通過し、偏光ビームスプリッタ45によりZ方向に取り出され、第1の1/4波長板46aを介してスロットダイの一方の対向面22Aにて反射され、第2の1/4波長板46bを介してスロットダイの他方の対向面22Bにて反射され、偏光ビームスプリッタ45によりX方向に取り出され、第3の1/4波長板46cを介して第2反射鏡47にて反射され、ビームスプリッタ42によりZ方向に取り出された第2反射光L2との干渉を検出する。処理装置は、検出された干渉に基づき、溝幅変化量Dおよび溝幅hを算出する。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
2つの対向面からなる溝部の溝面形状を測定する溝面形状測定装置であって、
光源と、複数の入射光の干渉を測定可能な受光手段と、光源から出射される出射光を分岐してなる第1分岐光を前記受光手段へ入射させる第1分岐手段と、
前記出射光を分岐してなる第2分岐光を前記2つの対向面にて反射させた後に前記受光手段へ入射させる第2分岐手段とを具備する干渉計と、
前記干渉計と前記溝部とを前記対向面に平行な方向に相対移動させる移動手段と、
前記移動手段の作動時に前記干渉計から出力される検出値に基づき、前記溝部の溝幅および溝幅の偏差を算出する溝幅算出手段と
を備えることを特徴とする溝面形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA06
, 2F065AA22
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065BB15
, 2F065DD06
, 2F065FF52
, 2F065HH10
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL34
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065QQ03
, 2F065QQ17
, 2F065UU05
, 2F065UU07
審査官引用 (8件)
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特開昭59-193304
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干渉計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-328735
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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特開昭59-193304
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