走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298341
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135052
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】高分解能観察を行った後、目的の視野を見失うことなくX線分析を行う。【解決手段】試料像観察時は対物レンズ7にて一次電子線4を試料8にフォーカスし、X線分析時は対物レンズの励磁をOFFし、収束レンズ6にて一次電子線4を試料にフォーカスする。

請求項（抜粋）：

電子線を発生する電子源と、前記電子線を収束するための収束レンズと、前記電子線を細く絞って試料上に照射させるための対物レンズと、前記電子線を前記試料上で二次元的に走査するための偏向器と、前記試料から前記電子線の照射により発生した二次信号を検出するための二次信号検出器とを具備した走査電子顕微鏡において、前記二次信号検出器として試料像観察用の検出器とX線分析用の検出器とを備え、試料像観察時は前記対物レンズにより前記電子線を試料にフォーカスさせ、X線分析時には前記対物レンズの励磁をOFF又は試料像観察時よりも弱励磁状態とし前記収束レンズにより前記電子線を試料にフォーカスさせることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/21 , H01J 37/252 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/21 B , H01J 37/252 A , H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-057192 出願人：日本電子株式会社
走査型電子線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-011727 出願人：株式会社島津製作所
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-298171 出願人：株式会社日立製作所

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