特許
J-GLOBAL ID：200903020912516489

カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる現像装置

発明者：
角野 友信

角野 友信 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-059868
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249214
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 液晶層の厚み設定用としての柱状凸部と透明保護層を高い精度で備えたカラーフィルタを簡便に製造するための製造方法と、この製造方法に用いるための現像装置を提供する。【解決手段】 第1の工程として基板上に所定のパターンで複数色からなる着色層を形成した後、少なくとも前記着色層を覆うように前記基板上にネガ型の感光性樹脂層を形成し、第2の工程として柱状凸部の形成パターンに相当する開口部を備えたフォトマスクを介して前記感光性樹脂層を露光し、第3の工程として前記感光性樹脂層を高速現像液で現像して透明保護層として設定された所定の厚みよりもやや大きい厚みまで未露光部を溶解除去し、その後、前記感光性樹脂層を低速現像液で現像して透明保護層として設定された所定の厚みとなるまで未露光部を溶解除去することにより、前記基板上の複数の所定部位に透明な柱状凸部を形成するとともに、少なくとも前記着色層を覆うように透明保護層を形成することにより、液晶層の厚み設定用としての柱状凸部と透明保護層を高い精度で備えたカラーフィルタを製造する。
請求項（抜粋）：
基板上に所定のパターンで複数色からなる着色層を形成した後、少なくとも前記着色層を覆うように前記基板上にネガ型の感光性樹脂層を形成する第1の工程、柱状凸部の形成パターンに相当する開口部を備えたフォトマスクを介して前記感光性樹脂層を露光する第2の工程、前記感光性樹脂層を高速現像液で現像して透明保護層として設定された所定の厚みよりもやや大きい厚みまで未露光部を溶解除去し、その後、前記感光性樹脂層を低速現像液で現像して透明保護層として設定された所定の厚みとなるまで未露光部を溶解除去することにより、前記基板上の複数の所定部位に透明な柱状凸部を形成するとともに、少なくとも前記着色層を覆うように透明保護層を形成する第3の工程、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (4件)：
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 569 C
Fターム (26件)：
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB14 ,  2H048BB28 ,  2H048BB37 ,  2H048BB44 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091GA01 ,  2H091GA08 ,  2H091GA13 ,  2H091LA15 ,  2H091LA30 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096CA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096GA21 ,  5F046LA03 ,  5F046LA04 ,  5F046LA11 ,  5F046LA12
引用特許：
審査官引用 (9件)
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