電子線透過窓の洗浄方法および電子線照射装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-144012
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337199
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、電子線照射装置の電子線透過窓上の堆積物除去方法および装置に関する。【解決手段】電子線源の電子線透過窓およびもしくはその近傍に活性ガスまたは活性ガスを含む不活性ガスを吹きつけながら、電子線を照射する電子線透過窓の洗浄方法であり、さらには、電子線源の電子線透過窓の近傍に活性ガスまたは活性ガスを含む不活性ガスの噴射ノズルを設けてなる電子線照射装置である。

請求項（抜粋）：