特許
J-GLOBAL ID：200903078155008614

電子線照射装置

発明者：
足立 義明

足立 義明 について


出願人/特許権者：
日新ハイボルテージ株式会社

日新ハイボルテージ株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360995
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174598
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被照射物に照射する電子線の照射幅を大きくすると共に照射時間を長くすることのできる電子線照射装置を提供する。【解決手段】 電子線加速器を、電子線6を互いに直交するX方向およびY方向に、しかもX方向よりもY方向の走査幅を大きくして走査するものとし、照射窓14に、窓箔を支持しかつ冷却する複数の水冷桟32を、X方向と平行に並設した。かつ送風手段を、照射窓14の窓箔に対してX方向と平行に空気30を吹き付けるよう配置し、更に被照射物24の搬送方向Aを、Y方向と平行な方向にした。
請求項（抜粋）：
電子線を走査して射出する電子線加速器と、この電子線加速器の電子線射出部に設けられていて電子線を透過させると共に当該電子線加速器の内外の雰囲気を分離する窓箔を有する照射窓と、この照射窓の窓箔に空気を吹き付けて当該窓箔を冷却する送風手段とを備えていて、被照射物を搬送しながら当該被照射物に前記電子線を照射する構成の電子線照射装置において、前記電子線加速器を、電子線を互いに直交するX方向およびY方向に、しかもX方向よりもY方向の走査幅を大きくして走査するものとし、前記照射窓に、前記窓箔を支持しかつ冷却するものであって内部に冷却水が流される複数の水冷桟を、前記X方向と平行に並設し、前記送風手段を、前記照射窓の窓箔に対して前記X方向と平行に空気を吹き付けるよう配置し、かつ前記被照射物の搬送方向を、前記Y方向と平行な方向にしたことを特徴する電子線照射装置。
IPC (2件)：
G21K 5/04 ,  G21K 5/10
FI (2件)：
G21K 5/04 E ,  G21K 5/10 S
引用特許：
審査官引用 (8件)
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