特許
J-GLOBAL ID:200903021132630294

光学基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-004046
公開番号(公開出願番号):特開2001-194507
出願日: 2000年01月12日
公開日(公表日): 2001年07月19日
要約:
【要約】【課題】 マイクロレンズアレイ基板のスタック厚(マイクロレンズアレイ基板の表面からレンズエッジまでの光学距離)を正確に測定できるようにする。【解決手段】 ベースガラス51の上に形成されたレンズ樹脂層52の表面にマイクロレンズアレイパターン56を形成し、レンズ樹脂層52の上に封止樹脂層58を積層して表面を平坦化し、その上にカバーガラス59を積層してマイクロレンズアレイ基板61を形成する。ここで、レンズ樹脂層52の表面のマイクロレンズアレイパターン56の領域外において、マイクロレンズアレイパターン56のレンズエッジを含む平面と同じ高さに測定用マーク57を設ける。
請求項(抜粋):
第1の基材の上方に光学パターンを備えた光学素子アレイ層を形成し、当該光学素子アレイ層の上方に少なくとも該光学パターンの上方領域を平坦化する封止樹脂層を積層し、当該封止樹脂層の上方に第2の基材を積層した光学基板において、前記光学パターンのエッジを含む平面内で、かつ前記光学パターン形成領域外に、前記第2の基材の表面から認識可能な面状のマークを設けたことを特徴とする光学基板。
引用特許:
審査官引用 (6件)
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