特許
J-GLOBAL ID：200903021381764160
水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-296599
公開番号（公開出願番号）：特開2008-113380
出願日： 2006年10月31日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：
【課題】水晶振動子表面の金属膜をその表面形成されたレジストパターンに沿ってエッチングして音叉の各腕部に励振電極を形成する際に、音叉の股部へのレジストの貯留を抑えることにより、当該股部への金属膜の残留を抑えて、励振電極間の短絡を抑えること。【解決手段】水晶からなり、その主面が結晶軸であるZ軸方向に直交する2枚の原板の主面同士を、結晶軸であるX軸の正負の方向が互いに反転する関係になるように接合して前記水晶基板を形成し、前記水晶基板の表面及び裏面に、前記水晶片の外形に沿うと共に当該外形の幅方向が前記X軸と並行するように、水晶基板の表面が露出した外形形成用マスクを形成し、水晶基板をエッチングして、水晶片の外形を形成することにより、水晶片の音叉の股部の形状を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶基板をエッチングして、基部から振動腕部が2本伸び出して音叉型に形成されている水晶片を形成し、前記水晶片の振動腕部の内側の側面を含む領域に電極を形成する水晶振動子の製造方法において、
水晶からなり、その主面が結晶軸であるZ軸方向に直交する2枚の原板の主面同士を、結晶軸であるX軸の正負の方向が互いに反転する関係になるように接合して前記水晶基板を形成する工程と、
前記水晶基板の表面及び裏面に、前記水晶片の外形に沿うと共に当該外形の幅方向が前記X軸と並行するように、水晶基板の表面が露出した外形形成用マスクを形成し、水晶基板をエッチングして、水晶片の外形を形成する工程と、
前記外形形成用マスクを除去後、水晶片の各振動腕部の内側の側面及び各振動腕部に挟まれる股部を含む領域に、前記電極を形成するための金属膜を形成する工程と、
前記領域に露光された部分が溶解性となるポジ型レジスト膜により、前記金属膜を被覆する工程と、
前記レジスト膜を電極パターン形成用のマスクを用いて露光し、現像することにより、露光した部分を除去して、前記股部を含む領域の金属膜が露出したレジストパターンを形成する工程と、
次いでこのレジストパターンを用いて前記金属膜をエッチングし、電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
H03H3/02 C
, H03H9/19 J
, H03H9/215
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE18
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG11
, 5J108GG16
, 5J108GG20
, 5J108KK01
, 5J108MM11
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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