特許
J-GLOBAL ID：200903021482004590
散乱型近接場顕微鏡および散乱型近接場分光システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-265710
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101424
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】散乱型近接場顕微鏡において、従来の技術よりも、S/N比とコントラストの向上をはかるとともに、非透過性のサンプルのサンプル測定を行う場合の後方散乱成分の集光も効率的に行えるような技術を提供する。【解決手段】エバネッセント場を散乱させるための金属または誘電体をカンチレバーに設けられた探針の最先端部付近にのみ設けるとともに、探針先端で後方散乱され、集光手段で集光される光の一部または全部がカンチレバーを透過して集光されるように、カンチレバーの一部または全部を光学的に透明な材料で構成した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
探針構造を有するカンチレバーと、該カンチレバーを保持するためのカンチレバーホルダと、前記探針に対向する位置に配置され、サンプルの保持を行うサンプルホルダと、前記カンチレバーの撓み量を検出するための撓み量検出機構と、探針とサンプル間の距離を調整するための微動機構と、探針とサンプルを2次元平面内で相対的に移動させるスキャナと、前記撓み量検出機構からの信号を基に前記微動機構を動作させて、微小探針とサンプル間の距離の調整を行うためのサーボ回路と、サンプル表面にエバネッセント光を発生させるエバネッセント光発生手段と、サンプル表面に発生したエバネッセント光に探針を近接させた際に発生する散乱光を集光するための集光手段と、散乱光の強度を測定するための光検出部とを有し、エバネッセント光を散乱させるための金属または誘電体を探針の最先端部付近に設けたことを特徴とする散乱型近接場顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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