投影露光機における撮像装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村田幹雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-553336
公開番号（公開出願番号）：特表2005-513767
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

本発明は、少なくとも1つの光学部品(10、33、34)と、該光学部品(10、33、34)を操作するための線形駆動部(11)を有する少なくとも1つの調整装置(9)とを備えたミクロリソグラフィに用いられる投影露光機における撮像装置である。上記線形駆動部(11)は運動軸(17)の方向に相互に対応して移動することが可能な駆動部(14)と非駆動部(15)とを有する。駆動部(14)及び非駆動部(15)は、運動軸(17)を有する機能要素(18)と、運動軸(17)に少なくとも略平行な進行方向を有する機能要素(19)とを介して、少なくとも一時的に相互に連結される。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの光学部品(10)と、該光学部品(10)の位置を操作するための線形駆動部(11)を有する少なくとも1つの調整装置(9)とを備え、上記線形駆動部(11)は、運動軸(17)の方向に相互に対応して進行することが可能な駆動部(14)と非駆動部(15)とを有し、該駆動部(14)及び非駆動部(15)は上記運動軸(17)に対して少なくとも略垂直の進行方向を有する機能要素(18)と、運動軸(17)に対して少なくとも略平行の進行方向を有する機能要素(19)とを介して、少なくとも一時的に相互に連結されることを特徴とする半導体製造におけるミクロリソグラフィ工程に用いられる投影露光機における撮像装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G02B7/02 , G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 515D , G02B7/02 C , G03F7/20 521 , H01L21/30 516A

Fターム (8件)：

2H044AC01 , 5F046CB01 , 5F046CB12 , 5F046CB20 , 5F046CB24 , 5F046DA13 , 5F046DB05 , 5F046DC08

引用特許：

審査官引用 (8件)

圧電アクチュエータおよびリソグラフィ装置およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-360001 出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-309677 出願人：株式会社ニコン
特開昭61-182112

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