交換結合膜、磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型ヘッドおよび磁気抵抗効果素子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327327
公開番号（公開出願番号）：特開平11-266044
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】熱的安定性が良好であり、大きなMR比を示す交換結合膜、MR素子およびMRヘッドを得る。【解決手段】交換結合膜100は、基板1と多層膜とから成り、該多層膜は、強磁性体層3と該強磁性体層3に隣接して設けられ該強磁性体層3の磁化回転を抑制する磁化回転抑制層とを含んでおり、該磁化回転抑制層は、Fe-M-O層2(M=Al、Ti、Co、Mn、Cr、Ni、V)とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

基板と多層膜とから成り、該多層膜は、強磁性体層と該強磁性体層に隣接して設けられ該強磁性体層の磁化回転を抑制する磁化回転抑制層とを含んでいる交換結合膜であって、該磁化回転抑制層は、Fe-M-O層(M=Al、Ti、Co、Mn、Cr、Ni、V)とを含んでいる交換結合膜。

IPC (3件)：

H01L 43/08 , G11B 5/39 , H01F 10/08

FI (3件)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , H01F 10/08 A

引用特許：

審査官引用 (9件)

スピンバルブ膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-053685 出願人：日本電気株式会社
磁気抵抗効果多層膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082788 出願人：日立金属株式会社
二重スピン・バルブ磁気抵抗センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-275141 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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