特許
J-GLOBAL ID：200903021837058476

電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器

発明者：
安川 昌宏

安川 昌宏 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-004942
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172950
出願日： 2002年01月11日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 基板上に画素スイッチング用のトランジスタ素子が形成されてなる電気光学装置において、遮光膜を用いることで耐光性を高めると共に、この遮光膜の酸化による遮光性能低下を低減し、更に、この遮光膜による半導体層等へのコンタミネーションを低減する。【解決手段】 支持基板上に、画素電極と、これに接続されておりチャネル領域を含む半導体層を有するトランジスタ素子と、これに接続された配線と、少なくともチャネル領域を支持基板側から覆う遮光膜と、この遮光膜と半導体層との間及び支持基板と遮光膜との間のうち少なくとも一方の間に配置されると共に窒化シリコン膜又は窒化酸化シリコン膜を含む絶縁部とを備える。
請求項（抜粋）：
支持基板上に、画素電極と、該画素電極に接続されておりチャネル領域を含む半導体層を有するトランジスタ素子と、該トランジスタ素子に接続された配線と、少なくとも前記チャネル領域を前記支持基板側から覆う遮光膜と、該遮光膜と前記半導体層との間及び前記支持基板と前記遮光膜との間のうち少なくとも一方の間に配置されると共に窒化シリコン膜又は窒化酸化シリコン膜を含む絶縁部とを備えたことを特徴とする電気光学装置。
IPC (11件)：
G02F 1/1368 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1335 500 ,  G03B 21/00 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/786
FI (11件)：
G02F 1/1368 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1335 500 ,  G03B 21/00 E ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 C ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 27/12 B ,  H01L 29/78 619 B ,  H01L 27/08 321 B ,  H01L 29/78 626 C
Fターム (124件)：
2H042AA15 ,  2H042AA26 ,  2H091FA34X ,  2H091FA34Z ,  2H091FA35X ,  2H091FA35Z ,  2H091FA41Z ,  2H091FB08 ,  2H091FD02 ,  2H091GA13 ,  2H091LA03 ,  2H091MA07 ,  2H092GA11 ,  2H092GA17 ,  2H092GA24 ,  2H092GA25 ,  2H092GA43 ,  2H092HA03 ,  2H092HA05 ,  2H092HA14 ,  2H092JA24 ,  2H092JA28 ,  2H092JA31 ,  2H092JA32 ,  2H092JB51 ,  2H092JB52 ,  2H092JB54 ,  2H092JB56 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA11 ,  2H092KB04 ,  2H092KB05 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA02 ,  2H092MA05 ,  2H092MA17 ,  2H092RA05 ,  5C094AA16 ,  5C094AA25 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA16 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5F048AB03 ,  5F048AB07 ,  5F048AC04 ,  5F048BA09 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BC06 ,  5F048BC16 ,  5F110AA21 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD22 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG51 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL05 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN26 ,  5F110NN43 ,  5F110NN44 ,  5F110NN46 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17 ,  5F110QQ19
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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