水晶振動子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 南山知広 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-139893
公開番号（公開出願番号）：特開2005-012767
出願日： 2004年05月10日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】設計通りの発振周波数を有し、個体間の発振周波数のばらつきが少なく、信頼性の高い水晶振動子を得ることが可能な液晶振動子の製造方法を提供する。【解決手段】水晶基板(100)の一方の面上に第1レジスト層(300)を形成し、第1露光量により第1レジスト層を露光してパターン化された第1マスク層(210)を形成し、水晶基板の他方の面上に第2レジスト層(400)を形成し、第1マスク層を利用して第2露光量により水晶基板を介して第2レジスト層を露光してパターン化された第2マスク層(410)を形成し、パターン化された第1マスク層及びパターン化された第2マスク層を利用し、水晶基板をエッチングして水晶片(150)を形成する工程を有する水晶振動子の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶振動子の製造方法において、水晶基板の一方の面上に第1レジスト層を形成し、第1露光量により前記第1レジスト層を露光して、パターン化された第1マスク層を形成し、前記水晶基板の他方の面上に第2レジスト層を形成し、前記第1マスク層を利用して、第2露光量により前記水晶基板を介して前記第2レジスト層を露光して、パターン化された第2マスク層を形成し、前記パターン化された第1マスク層及び前記パターン化された第2マスク層を利用し、前記水晶基板をエッチングして水晶片を切り出す、工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H3/02 , C30B29/18 , C30B33/08

FI (3件)：

H03H3/02 B , C30B29/18 , C30B33/08

Fターム (7件)：

4G077AA02 , 4G077BB03 , 4G077FG05 , 4G077FG18 , 4G077HA04 , 5J108MM08 , 5J108MM15

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭56-106412(第4頁、図1)
水晶基板のエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-003547 出願人：セイコーエプソン株式会社
水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-074227 出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (7件)

特開昭62-071313
薄膜構造製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-028051 出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
特開平4-356925

全件表示

前のページに戻る