エッチング方法及びその方法によって成形されたエッチング成形品

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264698
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073200
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 1回のエッチング工程のみで所定形状の水晶ウェハを成形することを可能にし、これによって、水晶ウェハの面荒れの防止、エッチング不良の回避、薄肉部分やその周辺部における破損の防止を図ることができるエッチング方法及びエッチング成形品を提供する。【解決手段】水晶ウェハ1の各所を、エッチングレートが互いに異なる複数種類のマスク層R2,R3によってマスキングした状態で、この水晶ウェハ1をエッチング処理する。エッチングレートの高いマスク層によってマスキングされた部分ではエッチング動作が早期に開始されるため、エッチング量が多くなる。逆に、エッチングレートの低いマスク層によってマスキングされた部分ではエッチング動作の開始が遅延されるため、エッチング量が少なくなる。これにより水晶ウェハ1を任意の形状に成形することが可能となる。

請求項（抜粋）：

被成形物を所定形状にエッチングするためのエッチング方法であって、上記被成形物の各所をエッチングレートが互いに異なる複数種類のマスク層によってマスキングした状態で、この被成形物をエッチング処理することにより、各マスク層それぞれのエッチングレートの大きさに応じて被成形物の各所のエッチング量を互いに異ならせて被成形物を所定形状にエッチングすることを特徴とするエッチング方法。

IPC (3件)：

C30B 33/08 , H01L 21/306 , H03H 3/02

FI (3件)：

C30B 33/08 , H03H 3/02 B , H01L 21/306

Fターム (13件)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077BB03 , 4G077FG05 , 4G077FG06 , 4G077HA11 , 5F043AA31 , 5F043AA40 , 5F043BB22 , 5F043FF10 , 5F043GG10 , 5J108MM08 , 5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (9件)

部品及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-301739 出願人：株式会社東芝
特開昭62-065333
特開平4-354332

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