特許
J-GLOBAL ID：200903022212934630
インピーダンス自動整合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-250312
公開番号（公開出願番号）：特開2004-088701
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】高周波電源と負荷との間にインピーダンス整合回路を挿入してインピーダンスの整合を図るインピーダンス自動整合装置において、整合動作を行っている過程で、負荷のインピーダンスが不連続に変動して整合点に到達できなくなるといった問題点を解消する。【解決手段】可変インピーダンス素子Cx,Cyの調節部の操作位置x,yを、負荷のインピーダンスが不連続に変動する領域10を避けるように予め設定されている複数の前記操作位置x,yの調節軌跡8を追従するように制御し、前記領域10を避けて整合点に近づくと、従来と同様に整合動作を行うようにしている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
高周波電源とインピーダンス変動負荷との間に設けられ、かつ、外部から調節できる内部インピーダンスを有するインピーダンス可変部と、
前記インピーダンス変動負荷から前記高周波電源への反射波電力が不連続に増大するのを回避するために予め設定されている複数の調節点からなる調節軌跡を追従制御するように前記インピーダンス可変部の内部インピーダンスを調節制御する制御部と、
を有することを特徴とするインピーダンス自動整合装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G028AA01
, 2G028AA05
, 2G028BE10
, 2G028CG08
, 2G028DH14
, 2G028FK01
, 2G028FK02
