特許
J-GLOBAL ID：200903022244780600
感光性高分子膜表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-217237
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134873
出願日： 2004年07月26日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 マスクを介さずに干渉露光させ、高分子膜の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく簡便な方法により、高分子膜の表面積が大きくても容易に、高分子膜上に釣鐘状構造部を形成することができる釣鐘型凸状構造部の形成方法を提供する。【解決手段】 感光性高分子膜3表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法は、感光性機能を有する高分子膜3の表面に、釣鐘型凸状構造部を形成させる方法であって、感光性機能を有する高分子膜3の表面に、該高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域のパルスレーザー光4a、4bを、マスクを介さずに干渉露光させることにより、表面レリーフグレーティング構造を経由して形成された釣鐘型凸状構造部を、前記高分子膜3の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく形成させることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
感光性機能を有する高分子膜の表面に、釣鐘型凸状構造部を形成させる方法であって、感光性機能を有する高分子膜の表面に、該高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域のパルスレーザー光を、マスクを介さずに干渉露光させることにより、表面レリーフグレーティング構造を経由して形成された釣鐘型凸状構造を有している釣鐘型凸状構造部を、前記高分子膜の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく形成させることを特徴とする感光性高分子膜表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法。
IPC (4件)：
G03F7/20
, G02B3/00
, G02B5/18
, G03F7/004
G03F7/20 505
, G02B3/00 A
, G02B5/18
, G03F7/004 521
2H025AA02
, 2H025AB14
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BH05
, 2H025CB19
, 2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA34
, 2H049AA37
, 2H049AA48
, 2H097AA20
, 2H097CA17
, 2H097LA16
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
