特許
J-GLOBAL ID：200903022250147588

プラズマ発生装置

発明者：
谷口 道夫

谷口 道夫 について

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蓑毛 正一郎

蓑毛 正一郎 について

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天立 茂樹

天立 茂樹 について

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近藤 一喜

近藤 一喜 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116642
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307899
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で信頼性高く冷却する。【解決手段】矩形導波管2に設けられた開口2bに対してT字型に連通接続された同軸管4と、封止手段24とを備える。同軸管4は、開口2bにおいて矩形導波管2を径方向に貫通してその一端側が矩形導波管2から突出する内導体41と、内導体41の一端側の外側に内導体41と略同軸に配置された外導体42とを備えている。封止手段24は開口2bにおける矩形導波管2と内導体41との間の隙間を絶縁体6で閉塞するとともに、外導体42と内導体41との間に形成されるプラズマ発生空間19をOリング20、22等を用いて矩形導波管2に対して真空封止している。このように構成したうえに、内導体41の他端側を矩形導波管2に熱的および電気的に結合している。
請求項（抜粋）：
マイクロ波が導入される矩形導波管と、前記矩形導波管に設けられた開口に対してT字型に連通接続された同軸管と、封止手段とを備え、前記同軸管は、前記開口において前記矩形導波管を同軸管の管軸方向に貫通してその一端側が矩形導波管から突出する内導体と、前記内導体の一端側の外側に内導体と略同軸に配置された外導体とを有し、前記封止手段は、前記開口における前記矩形導波管と前記内導体との間の隙間を絶縁体で閉塞するとともに、前記外導体と前記内導体との間に形成されるプラズマ発生空間を前記矩形導波管に対して真空封止するものであり、かつ、前記内導体の他端側を前記矩形導波管に熱的および電気的に結合した、ことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/3065
FI (3件)：
H05H 1/46 B ,  B01J 19/08 H ,  H01L 21/302 B
Fターム (10件)：
4G075AA24 ,  4G075BC10 ,  4G075CA26 ,  4G075CA48 ,  4G075FC15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB14 ,  5F004BB32 ,  5F004BD01
引用特許：
審査官引用 (9件)
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