特許

J-GLOBAL ID：200903022335346326

弾性表面波装置及びその製造方法

発明者： 中川 賢俊 ,  戸瀬 誠人 ,  越戸 義弘 ,  門田 道雄 ,  米田 年麿 ,  中尾 武志
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248932
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077653
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 電極コストが低く、挿入損失を改善することができ、周波数調整範囲を拡大することができ、さらに圧電基板に対する電極密着強度に優れた弾性表面波装置を得る。【解決手段】 圧電基板2上に、少なくとも1つのインターデジタル電極が形成されており、該インターデジタル電極が下地となる第1の金属薄膜5a上に、タンタルからなる第2の金属薄膜5bを積層した構造を有し、第2の金属薄膜5がα-タンタル化されている、弾性表面波装置1。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板に形成された少なくとも1つのインターデジタル電極とを有し、前記インターデジタル電極が下地となる第1の金属薄膜と、第1の金属薄膜に積層されており、タンタルを主成分とする第2の金属薄膜とを有し、第2の金属薄膜の少なくとも一部がα-タンタル化されていることを特徴とする、弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08

Fターム (12件)：

5J097AA01 ,  5J097AA06 ,  5J097AA13 ,  5J097AA24 ,  5J097DD01 ,  5J097FF03 ,  5J097FF08 ,  5J097GG02 ,  5J097HA02 ,  5J097HB08 ,  5J097KK01 ,  5J097KK05

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 特開昭63-185052
  
• 導電膜とその形成方法及び磁気抵抗効果ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-282139   出願人：富士通株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-330681   出願人：京セラ株式会社
• ラブ波型弾性表面波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-061731   出願人：国際電気株式会社
• 表面波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-051440   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平3-248586
  
• 特開平4-288718
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-185052