感放射線性組成物、絶縁膜の形成方法、絶縁膜、電子デバイス及び平面表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-055953
公開番号（公開出願番号）：特開2007-233125
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】液晶の層間絶縁膜材料にはポジ型の感光特性が要求されるが、材料の安定性、脱ガス、焼成後の透明性などを両立可能な材料の開発が課題とされていた。【解決手段】アルキルアミノ基を介して、シリコーン化合物にジアゾナフトキノン(DNQ)を直接結合させた感放射線性化合物を用いる。高感度で、透明性、耐熱性にすぐれた層間絶縁膜形成用感放射線組成物が提供できる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)

IPC (4件)：

G03F 7/023 , G03F 7/075 , H01L 21/027 , C08G 77/22

FI (4件)：

G03F7/023 501 , G03F7/075 511 , H01L21/30 502R , C08G77/22

Fターム (33件)：

2H025AA01 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE02 , 2H025CB33 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 4J246AA03 , 4J246AB01 , 4J246BA02X , 4J246BA020 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246CA24E , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA76E , 4J246CA76X , 4J246CA760 , 4J246CA82E , 4J246CA82X , 4J246CA820 , 4J246GB12 , 4J246GB33 , 4J246GC26 , 4J246GC52 , 4J246HA15 , 4J246HA62

引用特許：

出願人引用 (10件)

感光性ポリシラザン組成物及びパタ-ン化されたポリシラザン膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-283106 出願人：東燃株式会社
液晶表示素子の層間絶縁膜を形成するための感放射線性組成物、それから形成された層間絶縁膜、および液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274809 出願人：JSR株式会社
特開平2-032354

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審査官引用 (10件)

特開平2-032354
特開昭60-147732
表面をパターンに従って化学的に変性する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-222440 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ

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