特許
J-GLOBAL ID：200903022435715515
圧電素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-084619
公開番号（公開出願番号）：特開2008-244266
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】製造工程において受けたダメージを回復して変位量の均一性や信頼性の良好な圧電素子を提供する。【解決手段】 本発明にかかる圧電素子の製造方法は、基体側の上方に第1電極を形成する工程と、前記第1電極の上方に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と、前記第2電極および前記圧電体層の少なくとも一部をパターニングして、前記第1電極、前記圧電体層、および前記第2電極を有するキャパシタ構造部を形成する工程と、前記キャパシタ構造部の少なくとも一部を被覆する保護膜を形成する工程と、第1のアニールを行う工程と、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(a)基体側の上方に第1電極を形成する工程と、
(b)前記第1電極の上方に圧電体層を形成する工程と、
(c)前記圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と、
(d)前記第2電極および前記圧電体層の少なくとも一部をパターニングして、前記第1電極、前記圧電体層、および前記第2電極を有するキャパシタ構造部を形成する工程と、
(e)前記キャパシタ構造部の少なくとも一部を被覆する保護膜を形成する工程と、
(f)第1のアニールを行う工程と、
(g)前記上部電極と電気的に接続する配線膜を形成する工程と、
を含む、圧電素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 41/22
, H01L 41/08
, H01L 41/09
, H01L 41/187
H01L41/22 Z
, H01L41/08 D
, H01L41/08 U
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 L
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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