光学部材、光学部材の選定方法、並びに光学部材を用いた光露光装置及びその光学系

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055368
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235118
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】最大光路差が5[nm/cm]を超えるような光学材料であっても、高分解能の光学系に使用できるものを提供する。【解決手段】複屈折による光路差の最大値が5[nm/cm]以上であっても、光軸となる部分を中心とする2次元極座標系(r,θ)で表したとき、以下の(1)式で定まるΔn(r,θ)を、同一のrの点について平均した平均値の、rを変化させたときの最大値が、所定値以下であるものは、複数の光学部材からなる光学系に使用することができる。Δn(r,θ)=Ret(r,θ)・(2(cosφ)2-1) ...(1)ここで、Ret(r,θ)は複屈折の大きさ、φはθ方向を基準にして計った進相軸の向きを示す。

請求項（抜粋）：

波長300nm以下の光を透過する光学部材であって、複屈折による光路差の最大値が5[nm/cm]以上であり、光軸となる部分を中心とする2次元極座標系(r,θ)で表したとき、以下の(1)式で定まるΔn(r,θ)を、同一のrの点について平均した平均値の、rを変化させたときの最大値が、所定値以下であることを特徴とする光学部材。Δn(r,θ)=|Ret(r,θ)・(2(cosφ)2-1)| ...(1)ここで、Ret(r,θ)は複屈折の大きさ、φはθ方向を基準にして計った遅相軸又は進相軸の向きを示す。

IPC (2件)：

G02B 5/30 , H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 5/30 , H01L 21/30 515 D

Fターム (10件)：

2H049BA06 , 2H049BA42 , 2H049BB42 , 2H049BC25 , 5F046CA04 , 5F046CB12 , 5F046CB15 , 5F046CB17 , 5F046CB24 , 5F046CC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

光リソグラフィー用蛍石
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-134720 出願人：株式会社ニコン, 応用光研工業株式会社
光リソグラフィ-用石英ガラス、それを含む光学部材、それを用いた露光装置、並びにその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-000808 出願人：株式会社ニコン
光リソグラフィー用光学部材及び投影光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-242448 出願人：株式会社ニコン

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