特許
J-GLOBAL ID：200903022629612776
形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-311772
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128729
出願日： 2006年11月17日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】被測定物の広い面積(例えば全体またはほぼ全体)を測定するのに有利な形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置は、被測定物8を載せる載置面20をもちレーザ光を透過可能な透過部材2を保持する透過部材保持部3と、透過部材に載せられている被測定物8にレーザ光を投光する投光部4と、投光部4から投光されたレーザ光の照射部分の反射光を撮像する撮像部5と、撮像部5で撮像された撮像データを格納する撮像データ格納部6と、透過部材の載置面20の仮想線の回りに沿って投光部4を回動させ、回動に伴い被測定物8に対して投光部4を相対移動させる第1駆動部7とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定物を載せる載置面および前記載置面に背向する背向面をもちレーザ光を透過可能な透過部材を保持する透過部材保持部と、
前記透過部材に載せられている前記被測定物にレーザ光を投光する投光部と、
前記投光部から前記被測定物に投光された前記レーザ光の照射部分の反射光を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された撮像データを格納する撮像データ格納部と、
前記撮像データ格納部の前記撮像データに基づいて前記被測定物の形状を求める演算部と、
前記透過部材の前記載置面および前記背向面に前記投光部および前記撮像部が対向するように、前記透過部材の前記載置面上の仮想線の回りに沿って前記投光部を回動させ、回動に伴い前記被測定物に対して前記投光部と前記撮像部を相対移動させる第1駆動部とを具備することを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA52
, 2F065AA53
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF49
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065HH05
, 2F065HH08
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL08
, 2F065LL35
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065PP12
, 2F065QQ24
, 2F065UU04
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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