特許
J-GLOBAL ID：200903022711298940

静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、静電アクチュエータ搭載デバイス、液滴吐出ヘッドの製造方法

発明者：
藤井 正寛

藤井 正寛 について

, 
荒川 克治

荒川 克治 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-117874
公開番号（公開出願番号）：特開2006-304379
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】振動板と対向電極との間の残留電化影響の低減を実現して、安定した駆動が可能な静電アクチュエータを提案する。【解決手段】シリコンからなる振動板12と、振動板12にギャップ10を隔てて対向し振動板12との間で電圧が印加される対向電極17と、振動板12の対向電極17との対向面に形成された絶縁層16とを備え、絶縁層16が、振動板12に成膜された酸化シリコンよりも比誘電率が高い物質からなる誘電体層16Bと、誘電体層16Bに成膜された誘電体層16Bより表面電荷密度の抑制率の高い表面層16Cとの積層構造となっている静電アクチュエータ。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
振動板と、該振動板にギャップを隔てて対向し該振動板との間で電圧が印加される対向 電極と、前記振動板の前記対向電極との対向面に形成された絶縁層とを備え、 該絶縁層は、前記振動板に成膜された酸化シリコンよりも比誘電率が高い物質からなる 誘電体層と、前記誘電体層に成膜された前記誘電体層より表面電荷密度の抑制率の高い表 面層との積層構造となっていることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 11/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (3件)：
H02N11/00 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (11件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AP02 ,  2C057AP25 ,  2C057AP28 ,  2C057AP34 ,  2C057AP60 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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