特許
J-GLOBAL ID：200903022777321187
誘電体膜の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-282488
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049792
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有する誘電体膜の製造方法であって、乾燥工程が、誘電体前駆体膜をゾルの主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、誘電体前駆体膜を再加熱して一定時間保持することでさらに乾燥させる第2の乾燥工程とを実施する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有し、
前記乾燥工程が、前記誘電体前駆体膜を前記ゾルの主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を再加熱して一定時間保持することでさらに乾燥させる第2の乾燥工程とを有することを特徴とする誘電体膜の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22
, H01L 21/316
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/24
H01L41/22 Z
, H01L21/316 P
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
2C057AP14
, 2C057AP57
, 2C057BA14
, 5F058BF46
, 5F058BH01
, 5F058BJ10
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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