特許
J-GLOBAL ID：200903012819831495

圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法

発明者：
亀井 宏行

亀井 宏行 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-114307
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298222
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 圧電特性の均一性を向上することのできる圧電体素子の製造方法の提供。【解決手段】 有機金属のゾルを乾燥させる工程と、これを脱脂させる工程とを備え、この脱脂させる工程において、基板512の片面全体をホットプレート100に密着させて基板を加熱する。より具体的には、小孔104を備えた基板吸着式のホットプレートを用いる方法、おもり101により荷重をかける方法がある。また、金属板105上に押し付けて密着させ、基板512の反りを矯正したままホットプレート100上に載せてもよい。更に、ホットプレート100の上にセラミックプレート102を置いたり、電熱線103を用いることにより、熱伝導ではなく輻射熱により加熱してもよい。
請求項（抜粋）：
基板上に下部電極を形成する工程と、この下部電極上に有機金属のゾルを塗布する工程と、この有機金属のゾルをゲル化させる工程と、このゲル化した有機金属を結晶化させて圧電体膜を形成する工程と、この圧電体膜上に上部電極を形成する工程とを備える圧電体素子の製造方法であって、前記有機金属のゾルをゲル化させる工程は、前記有機金属のゾルを乾燥させる工程と、これを脱脂させる工程とを備え、この脱脂させる工程において、基板の片面全体をホットプレートに密着させて基板を加熱する、圧電体素子の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18
FI (7件)：
C04B 35/49 Z ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/18 101 Z
Fターム (19件)：
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031GA02
引用特許：
審査官引用 (8件)
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