磁気ヘッドスライダの製造方法およびバーの研磨方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三反崎泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-354790
公開番号（公開出願番号）：特開2002-157723
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】磁気ヘッドスライダ毎の研磨制御を可能にする磁気ヘッドスライダの製造方法およびバーの研磨固定方法する。【解決手段】複数の磁気ヘッドスライダ2よりなるバー5の長手方向両端を、真空吸着装置200A,200Bによって吸着保持する。この状態で、磁気ヘッドスライダ2と同じ数だけ設けた押圧シリンダ185A,185Bによって、弾性部材230を介して、バー5を各磁気ヘッドスライダ2毎に研磨板102に押圧する。バー5を研磨板102に対して押圧する押圧力を、磁気ヘッドスライダ2毎に制御できるため、バー5の研磨量を磁気ヘッドスライダ2毎に制御することができるようになる。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の薄膜磁気ヘッド素子を形成する素子形成ステップと、前記基板を切断して、少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ形成された複数の磁気ヘッドスライダを含むバーを形成するバー形成ステップと、前記バーを研磨部材に対して磁気ヘッドスライダ毎に押圧しつつ研磨する研磨ステップと、前記バーを切断して磁気ヘッドスライダを得るバー切断ステップとを含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。

IPC (6件)：

G11B 5/60 , B24B 37/00 , B24B 37/04 , G11B 5/31 , G11B 5/39 , G11B 21/21 101

FI (8件)：

G11B 5/60 C , G11B 5/60 U , B24B 37/00 B , B24B 37/04 G , G11B 5/31 N , G11B 5/31 K , G11B 5/39 , G11B 21/21 101 L

Fターム (24件)：

3C058AA07 , 3C058AA11 , 3C058AB01 , 3C058AB04 , 3C058AC01 , 3C058BA05 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA16 , 5D033BB14 , 5D033BB43 , 5D033DA12 , 5D033DA31 , 5D034BA02 , 5D034BB05 , 5D034BB12 , 5D034DA02 , 5D034DA07 , 5D042NA02 , 5D042PA01 , 5D042PA05 , 5D042PA09 , 5D042RA02 , 5D042RA04

引用特許：

審査官引用 (17件)

薄膜磁気ヘッド用スライダ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-302052 出願人：株式会社日立製作所
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-002394 出願人：株式会社日立製作所
露光用マスク及びこの露光用マスクを用いたエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-077365 出願人：アルプス電気株式会社

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