特許
J-GLOBAL ID：200903023000651228

回折格子の加工方法及び加工装置

発明者：
横松 孝夫

横松 孝夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091718
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 多数のブレーズド形状の回折格子を高精度で加工する。【解決手段】 最小のピッチP1を有する最外周の溝51を加工した後に、溝51の内側でピッチP1よりも大きいピッチP2を有する溝52を加工し、その後に溝52の内側でピッチP2よりも大きいピッチP3を有する溝53を順次に加工する。溝51を形成する際には、チップ22bの先端22dと溝51の底部51aが一致し、溝51の頂点51cにはチップ22bの接点22eが当接する。溝52を形成する際には、チップ22bの先端22dと溝52の底部52aが一致し、溝52の頂点52cにはチップ22bの未使用の接点22fが当接する。溝53を形成する際には、チップ22bの先端22dと溝53の底部53aが一致し、溝52の頂点53cにはチップ22bの未使用の接点22gが当接する。
請求項（抜粋）：
凹のブレーズド形状を有し格子ピッチが徐々に微細になる回折格子又は回折格子の型を切削により加工する回折格子の加工方法であって、前記格子ピッチが微細な部分から粗い部分に向かって加工することを特徴とする回折格子の加工方法。
IPC (4件)：
G02B 5/18 ,  B23C 3/34 ,  B29C 33/38 ,  B29L 11:00
FI (4件)：
G02B 5/18 ,  B23C 3/34 ,  B29C 33/38 ,  B29L 11:00
Fターム (22件)：
2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA07 ,  2H049AA08 ,  2H049AA13 ,  2H049AA14 ,  2H049AA23 ,  2H049AA32 ,  2H049AA40 ,  2H049AA43 ,  2H049AA46 ,  2H049AA53 ,  2H049AA55 ,  2H049AA57 ,  2H049AA63 ,  3C022EE07 ,  3C022EE11 ,  3C022EE12 ,  3C022EE17 ,  4F202AH73 ,  4F202CB01 ,  4F202CD18
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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