特許
J-GLOBAL ID：200903023120915563
アッセンブリ、エキシマレーザ、エキシマレーザにおける光ビームのビームプロフィールを改善しスペクトルバンド幅変動を減少させるための方法およびレーザを動作させるための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009831
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209548
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 スペクトルバンド幅変動の少ないエキシマレーザを提供する。【解決手段】 本発明のレーザは、少なくとも2つのプリズムを有するビームエキスパンダを含む部材アッセンブリを有し、該2つのプリズムが、アッセンブリを通過するレーザビームのスペクトルバンド幅を減少させる。ビームエキスパンダの少なくとも1つのプリズムが熱的に安定な材料から形成され、そのような材料は、所望の波長を有する光に対する吸収係数が約0.1パーセント/cmと低く、温度にともなう屈折率変化率が約2.3×10-6(°C)-1と低く、20°Cにおける熱伝導率が少なくとも約9.71W/m°Cであり、および/または熱膨張係数が少なくとも約9×10-6(°C)-1である。好適な実施態様において、ビームプロフィールの安定性が改善され、レーザからのビームのスペクトルバンド幅の変動が減少し、スペクトルバンド幅自体も減少し、レーザの電圧安定性が大きい。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザチャンバからの光ビームのスペクトルバンド幅を減少するために用いるアッセンブリであって、該ビームは所望の波長範囲の光および所望でない波長の光を有し、該アッセンブリは、a.少なくとも1つの開口部、b.少なくとも2つのプリズムを有するビームエキスパンダであって、該プリズムは光ビームを透過する材料で形成され、該プリズムのうち少なくとも1つは該所望の波長範囲の光に対して約0.1%/cm以下の吸収係数を有する、ビームエキスパンダおよび、c.回折格子であって、i.該少なくとも1つの開口部は、該レーザチャンバからの該光ビームが該開口部を通過するように位置され、ii.該ビームエキスパンダの該プリズムは、該ビームが該プリズムを透過する際に該レーザからの該光ビームが拡張されるように位置され、iii.該格子は、該プリズムから出射する該光ビームの少なくとも実質的な部分が該格子によって反射されるように位置され、該所望の波長範囲が反射されて該ビームエキスパンダの該プリズムおよび該開口部を再び通過して該レーザチャンバに再び入射し、該所望でない波長の光の実質的に全部が、反射して該レーザチャンバ中に再び入射することがない、回折格子を備える、アッセンブリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/134
, H01S 3/223 E
