特許

J-GLOBAL ID：200903023142006621

透明導電性膜およびその製造方法

発明者： 木内 正人 ,  村井 健介 ,  田村 繁治 ,  梅咲 則正 ,  松尾 二郎 ,  山田 公
出願人/特許権者： 経済産業省産業技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320431
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143534
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】公知の透明導電性膜に比して、より低い抵抗率を示す透明導電性膜を提供することを主な目的とする。【解決手段】基体上に形成され、窒素を含有するインジウムスズ酸化物からなる膜厚5nm〜100μmの透明導電性膜;および真空中で励起状態とされている基体表面に気化したインジウムスズ酸化物を蒸着させることを特徴とする透明導電性膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

基体上に形成され、窒素を含有するインジウムスズ酸化物からなる膜厚5nm〜100μmの透明導電性膜。

IPC (6件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/40 ,  G02B 1/10 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/285 301

FI (6件)：

H01B 5/14 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503 B ,  H01L 21/285 301 Z ,  G02B 1/10 Z

Fターム (44件)：

2K009BB01 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009EE03 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA07 ,  4K029CA10 ,  4K030AA18 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030FA07 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030LA04 ,  4M104BB36 ,  4M104BB39 ,  4M104DD34 ,  4M104DD35 ,  4M104DD36 ,  4M104DD43 ,  4M104DD48 ,  4M104HH20 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10 ,  5G323BA01 ,  5G323BA02 ,  5G323BB03 ,  5G323BB04 ,  5G323BB06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-218685   出願人：東燃株式会社
• 特開平3-110716