特許
J-GLOBAL ID：200903023157366225

コア/シェル型無機微粒子及び強誘電体薄膜の製造方法

発明者：
上垣内 寿和

上垣内 寿和 について


出願人/特許権者：
株式会社関西新技術研究所

株式会社関西新技術研究所 について


代理人 (1件)： 岡田 正広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053575
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247737
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】 強誘電体薄膜を製造するための新規なコア/シェル型二重構造無機微粒子を提供する。工業的な製造適性にも優れる強誘電体薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 コア成分が強誘電体酸化物からなり、シェル成分が金属酸化物の前駆体ゲルからなるコア/シェル型二重構造無機微粒子と、有機ポリマーと、溶剤とを含む塗布液を、基板上に塗布し、基板上に前記コア/シェル型無機微粒子を含む薄膜を形成し、その後、これを焼成し、強誘電体薄膜を製造する。厚膜化が容易で、緻密な強誘電体薄膜が得られる。
請求項（抜粋）：
コア成分が、強誘電体酸化物からなり、シェル成分が、金属酸化物の前駆体ゲルからなる、コア/シェル型二重構造無機微粒子。
IPC (3件)：
C04B 35/49 ,  H01L 41/24 ,  H01B 3/12 301
FI (3件)：
C04B 35/49 A ,  H01B 3/12 301 ,  H01L 41/22 A
Fターム (18件)：
4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA09 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4G031GA01 ,  4G031GA05 ,  5G303AA02 ,  5G303AB15 ,  5G303BA03 ,  5G303BA04 ,  5G303CA01 ,  5G303CB25 ,  5G303CB35 ,  5G303CB39 ,  5G303DA05 ,  5G303DA06
引用特許：
出願人引用 (6件)
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