特許
J-GLOBAL ID：200903023172676745
清浄室内の環境分析用システムおよび環境分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-311891
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304671
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 空気中に含まれた水蒸気を凝縮することで凝縮水に含まれた水溶性汚染物質を分析することができる清浄室内の環境分析用システムおよび環境分析方法を提供する。【解決手段】 清浄室内の試料空気を冷却表面と接触させ試料空気中に含まれた水溶性汚染物質を凝縮させる凝縮管10(凝縮器)、および凝縮管10から得られた凝縮水を分析する電導度測定器41(分析器)を含んでいる。清浄室内の環境分析方法は、試料空気中に含まれた水蒸気を冷却させ凝縮水にする凝縮段階と、凝縮水を分析器に供給する供給段階、および供給された凝縮水を分析器で分析する分析段階を含んでいる。したがって、水溶性汚染物質の捕集時間を短縮し、捕集効率および正確度が非常に高く、後処理作業が不必要で分析作業のオンライン化を可能にする。さらに、異なる種類の水溶性汚染物質の濃度絶対値を分析することができる。
請求項（抜粋）：
分析対象になる清浄室内の試料空気を冷却表面と接触させることで前記試料空気中に含まれる水溶性汚染物質を水と同時に凝縮可能な凝縮器と、前記凝縮器から得られた凝縮水の供給を受けて分析する分析器と、を含むことを特徴とする清浄室内の環境分析用システム。
IPC (5件)：
G01N 1/22
, G01N 15/00
, G01N 30/02
, G01N 30/08
, G01N 30/88
G01N 1/22 A
, G01N 1/22 P
, G01N 1/22 S
, G01N 15/00 Z
, G01N 30/02 B
, G01N 30/08 L
, G01N 30/88 Z
